异质结太阳能电池是一种利用不同材料构成的异质结界面来产生光电转换效应的太阳能电池。这种太阳能电池通常由两种或更多种不同类型的半导体材料组成,通过在界面处形成能带偏移来实现光生电荷分离和电流产生。
具体的工艺流程如下:
异质结太阳能电池工艺流程主要包含以下关键步骤:
(1)硅片切割:使用高精度振镜和直线电机进行..调节,采用无冷媒的方式切割硅片,以保护N型硅片膜层,..切割质量和效率。
(2)链式清洗:将切割好的硅片放入氢氧化钾清洗液中进行深度清洁,随后进行酸洗,彻底去除硅片表面的杂质和污染物,为后续工艺奠定基础。
(3)链式吸杂:在硅片表面利用磷酸形成磷硅玻璃,通过这一步骤,有效吸出硅片内部的金属杂质,提高硅片的纯净度和电池性能。
(4)清洗制绒:利用碱对硅的各向异性刻蚀原理,在硅片表面形成金字塔形状,增加光吸收面积,提高电池的光电转换效率。同时,采用改良的RCA清洗工艺对硅片进行清洗,为后续的镀膜操作提供干净的表面。
(5)PEVCD镀膜:利用非晶硅的优异性能,在硅片表面沉积本征非晶硅薄膜和掺杂非晶硅薄膜,形成PN结。这一步骤中,RF电源将硅烷、氢气等工艺气体激发为等离子体态,并使其相互反应,..终以薄膜形式沉积在硅片上。
(6)PVD镀膜:在电池表面沉积TCO透明导电氧化薄膜,利用磁控溅射原理,将TCO材料以薄膜形式均匀沉积到电池表面,实现导电、减少反射并保护非晶硅薄膜的作用。
(7)丝网印刷:使用固定网版图形将银浆..印刷到电池的正背面,固化后形成导电电路,以便将电池产生的电流有效引出。
(8)测试分选:在标准测试条件下对电池进行电性能参数测试,包括开路电压、短路电流、填充因子和转换效率等,根据测试结果将电池按照性能标准进行分档。
(9)包装、入库:按照既定的数量和颜色标准,对不同档位的太阳能电池片进行分别包装、打包,并入库存储,等待后续出货或使用。
异质结太阳能电池由于其能够结合不同半导体材料的优势,可以实现更高的光电转换效率,因此在太阳能领域具有重要的应用前景。